Pay with

User

Username
Password
Remember me
Forgot password?	Register

Notifications

• View
• Subscribe

Subscription Login to verify subscription

Your IP address: 18.97.14.85

Search

Search

Search Scope All Authors Title Abstract Index terms Full Text

Browse

• By Issue
• By Author
• By Title
• By Sections
• Other Journals
• Categories

Keywords бесстолкновительная плазма вакуумное ультрафиолетовое излучение высокие температуры диффузия дрейф электронов дуговой канал ионно-звуковой солитон критерий неравновесности литография локальное термодинамическое равновесие неравновесность плазма аргона плазменная струя пленочные эффекты поляризация плазмы сильноионизованная плазма температурная зависимость термическое уравнение состояния уравнение Власова уравнение неразрывности фоторекомбинация