Автор туралы ақпарат
Uvarov, I. V.
| Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
| Том 52, № 6 (2023) | МЭМС-УСТРОЙСТВА | MEMS SWITCH BASED ON CANTILEVER WITH INCREASED CONTACT FORCE | |
| Том 52, № 6 (2023) | МОДЕЛИРОВАНИЕ | Performance calculation for a MEMS switch with «floating» electrode | |
| Том 52, № 3 (2023) | МЭМС–УСТРОЙСТВА | Fast Electrochemical Micropump for Portable Drug Delivery Module | |
| Том 54, № 2 (2025) | ДИАГНОСТИКА | Measuring adhesion energy between MEMS structures using an adhered cantilever |